文摘通过ELID（在线修整砂轮）磨削方法对SiC进行磨削试验，从材料去除机理、砂轮粒度的选择、切削深度等方面探讨了SiCELID磨削参数的选择。实验表明：砂轮粒度、切削深度对加工质量影响较大，在磨削效率和加工工件的表面质量等因素的综合分析基础上，找到优化的工艺参数，使效率和精度达到最高。在本试验条件下，用粒度为W3．5的金刚石砂轮磨削20min，表面粗糙度可达到0．023μm。