MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展

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MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展
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作者单位:西北工业大学化学工程系,西安,710072
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Recent Progress in Preparation of High Temperature Oxidation-resistant Iridium Coating by MOCVD

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主要概述了用MOCVD法制备金属铱涂层的原理以及工艺参数对制备涂层的影响,并对铱做保护层的铱/铼喷管的寿命进行了预测.指出MOCVD法制备铱涂层的关键问题是沉积前驱体的选择、沉积工艺参数的优化,并对MOCVD法制备铱涂层的最新研究进展作了评述,指出了今后的研究发展方向.

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阎鑫%张秋禹. MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展[J].宇航材料工艺,2003,33(2).

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